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鍍膜
包括化學氣相沉積法,物理氣相沉積法及光學鍍膜多種鍍膜方式,多種金屬薄膜和介質薄膜
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外延和摻雜
包括金屬有機物化學氣相沉積,離子注入,快速退火等
電鍍和化學鍍
晶圓級電鍍,電鑄和化學鍍鎳鈀金等
其它工藝
硅片清洗,噴膠,lift-off工藝等
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光刻
包括接觸式光刻,步進式光刻,電子束光刻和背面套刻
刻蝕
包括濕法刻蝕,反應離子刻蝕,離子束刻蝕等
切割和減薄
包括研磨,減薄,刀片切割和激光切割等
封裝
各種封裝方式,陽極鍵合、共晶鍵合,臨時鍵合,TSV和TGV等
優(yōu)勢工藝
括深硅刻蝕、犧牲層工藝,微電鍍和壓電層薄膜工藝等
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